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納米位移臺/壓電位移臺/壓電平移臺/壓電納米位移臺

納米位移臺即為可產(chǎn)生納米級步進位移的位移平臺，精度在納米級。“壓電”是指由壓電陶瓷作為驅(qū)動源，分多種驅(qū)動方式，如直驅(qū)式、放大機構式、馬達式。三者相比，響應速度快的為直驅(qū)式結構的壓電納米位移平臺，行程較大的是壓電馬達式壓電納米位移平臺，可達毫米、厘米甚至米量級。

直驅(qū)式機構-壓電納米位移臺

直驅(qū)式機構的壓電納米位移臺具有多種外觀，如柱形、環(huán)形、平臺型等。結構如下圖所示。柱形更適于單軸運動、單螺紋負載固定、空間受限的應用。而平臺型可輸出1至3維的位移，適于單軸或多軸的位移要求的應用。

參數(shù)舉例

型號：P66.XY

運動軸：X、Y

位移范圍：34µm/軸

承載能力：7kg

參數(shù)舉例

型號：PSt150/10/60VS15

運動軸：Z

位移范圍：57µm

推力：2300N

放大式機構-壓電納米位移臺

放大式機構的壓電納米位移臺是通過分析、設計特殊鉸鏈結構，將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移進行放大輸出，放大倍數(shù)自由設計，一般輸出范圍可在幾百微米甚至毫米。外觀可分為平臺式和橢圓結構式。

參數(shù)舉例

型號：P11.XYZ

運動軸：X、Y、Z

位移范圍：110µm/軸

承載能力：600g

橢圓結構

參數(shù)舉例

型號：P06.X40A

運動軸：Z(收縮)

位移范圍：41µm

出力：125N

型號：P06.X500R

運動軸：Z(膨脹)

位移范圍：560µm

出力：100N